事例紹介・プラズマ応用

大気圧プラズマとは、大気圧下でプラズマを発生させる技術です。プラズマはガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態で、大気圧プラズマではこのプラズマを安定して発生させることができます。大気圧プラズマは、低温で処理が可能で、薬液などを使用しないため環境にやさしいという特徴があります。表面洗浄や有機物除去, 表面改質, エッチングなどで農業・医療・電子材料製造など多くに分野で応用されております。

通常、大気圧プラズマは数～数十kHzで利用されている場合が多いです。これは電源性能による制限が主要因であると考えられます。低周波ではプラズマは間欠的な発生となりますが、高周波化する事で準平衡プラズマへと移行し、プラズマ密度が高くなり、安定したプラズマが発生できます。

液中プラズマとは、液体中に高密度のエネルギーを与えてプラズマを発生させる技術のことです。液中プラズマは、オゾン、OH ラジカル、衝撃波、紫外線、微小バブルなどを発生させることができます。この技術を使えば，油や廃液などの有機溶媒を直接プラズマで分解し，水素を取り出すことができます。有機物の分解, ナノ粒子の生成, 材料の表面改質などが効果的に行われるため、医療・環境（汚染物質の分解）・エレクトロニクスなど多くに分野で応用されております。

液中プラズマも大気圧プラズマと同様に同様に高周波化するプラズマ密度が高くなり、安定したプラズマが発生できます。メチレンブルーの分解試験でも周波数を高くすることにより分解速度が向上します。

液中プラズマは油や廃液などの処理への応用が期待されていますが、従来の電源では処理効率が悪くコストが上ってしまうため採用が広がっておりません。NexFiの高周波電源を用いる事により、高速水流下でも安定したプラズマが発生でき、廃液処理などの大量処理設備のコストダウン化が可能となります。