製品概要
ネクスファイ・テクノロジー株式会社は、独自の技術でパワーデバイスであるSiCの応用製品として、高電圧・高周波パルス電源のラインアップを揃えました。
特徴
独自の技術でパルストランスを開発、高電圧・高周波パルスを実現しました。
| 最大出力電圧 | ±10 kV ※1 |
| 最大繰り返し周波数 | 100 kHz～400 kHz |
| 入力電力 | 1.0 kW～3.0 kW |
| 入力電圧 | 三相AC 200 V (50/60 Hz) |
| ※1 負荷条件に依存します |
詳細仕様についてはお問い合わせください。
主な用途
- 大気圧プラズマ
- 液中プラズマ
- 成膜装置
- その他
用途・事例については事例紹介ページもご参照ください。
型番
| 電源電力 | 0.5kW | 1kW | 2kW | 2.5kW | |
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外形寸法(H x W x D)[mm] |
430 x 380 x 520 | 430 x 530 x 520 | 430 x 530 x 520 | 430 x 530 x 520 | |
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周 波 数 |
100kHz | PPT100-500-01 | PPT100-1k-01 | PPT100-2k-01 | PPT100-2.5k-01 |
| 200kHz | PPT200-500-01 | PPT200-1k-01 | PPT200-2k-01 | PPT200-2.5k-01 | |
| 300kHz | PPT300-500-01 | PPT300-1k-01 | PPT300-2k-01 | PPT300-2.5k-01 | |
| 400kHz | PPT400-500-01 | PPT400-1k-01 | PPT400-2k-01 | PPT400-2.5k-01 | |
オプション
多出力の対応も可能です。カスタム仕様につきましてはお気軽にお問い合わせ下さい。